氮化硼坩堝簡介(PBN與BN坩堝)

市面上氮化硼坩堝分成兩種:

1.PBN坩堝:

通常是採用含硼氣體(BCl3或B2H6)當原料 ,以CVD(化學氣相沈積法)方式製作。這當中含硼氣體經過熱解(1500~1800°C)與NH3反應成氮化硼(固體)。因為反應中有發生熱解反應,因此又稱為熱解氮化硼坩堝(俗稱PBN坩堝)。

這樣製成的氮化硼坩堝有很高的純度(99.99%以上) ,使用在蒸鍍/分子束磊晶(MBE)/GaAs長晶等用途居多。

因B2H6有劇毒 ,目前多以BCl3為原料。

另外,因沉積速度很慢, 因此PBN坩堝價格相當昂貴(多為小尺寸坩堝)。

2.燒結BN坩堝:

採用六方晶系的氮化硼與助燒結劑(Y2O3等)當原料 ,成型後經高溫燒結製作。這當中因含有助燒結劑(1~6wt%),所以純度不如PBN坩堝高。但是價格相對便宜許多,適合製作大尺寸坩堝。

這兩種坩堝都可以耐溫達1800°C以上。