靶材可分以下幾種：

1.陶瓷靶材：

a. ITO靶材

b. AZO靶材

c. 氧化鎂靶材

d. 氧化鋅靶材

e.IGZO靶材

f.其他

2.金屬靶材

a. 鋁靶材

b. 鈦靶材

c. 銅靶材

d. 鉬靶材

f. 其他

3.合金靶材

a. 鐵鈷靶材

b. 鋁矽靶材

c. 鎢鈦靶材

d. 其他