奈米球形氧化矽拋光液的應用如下：

1.砷化鎵晶片拋光

2.氮化矽晶片氧化層拋光

3.晶片銅層的拋光

4.藍寶石晶片拋光

奈米球形氧化矽拋光液的製備，是將高純度矽粉放入去離子水，加熱並添加催化劑，讓矽粉水解，以形成膠狀的奈米球形氧化矽。之後再加入酸或鹼去調整拋光液的酸鹼值。拋光液的透明度則是由膠狀的奈米球形氧化矽的粒徑與比例決定。這樣製作的拋光液，奈米球形氧化矽可以有較均一粒徑分佈。