氮化硼粉燒結簡介

氮化硼有很好的熱衝擊特性/耐腐蝕/潤滑性/高溫絕緣性/高溫不反應性等優點,是高溫真空或氣氛燒結與蒸鍍等指定使用的坩堝材料。

六方氮化硼屬共價鍵化合物,它沒有熔點,到2700°C 會直接昇華。它在C軸方向相當惰性,不與其他物質反應(包括自己),也因此讓它相當困難燒結緻密。

目前蒸鍍用的PBN氮化硼坩堝,是採用熱解CVD製程生產的,純度高且價格昂貴。

而燒結製成的氮化硼坩堝,可以用常壓或熱壓燒結生產的,價格比其它坩堝(氧化鋁或氧化鎂或釔安定氧化鋯)昂貴。

無論是熱壓燒結還是常壓氣氛燒結,都需要在六方氮化硼裡,加入助燒結劑,才能燒結緻密。常見的助燒結劑有 : Y2O3/YAG/B2O3/Al2O3+CaO等以上的混合材料。要特別注意的是,B2O3有易吸水性,若以B2O3當助燒結劑 ,須降低B2O3的殘留量,因為B2O3的存在會降低氮化硼坩堝的耐熱特性。