碳化矽的晶體結構，分為兩種 :

(1)立方(cubic)，是低溫相，又稱β-SiC。只有一種晶相為ABC排列，又稱3C-SiC。

(2)六方(hexagonal)，是高溫相，又稱α-SiC。

文獻上已發表過超過200 種以上的六方晶相，其中較常見的結構為 2H、4H、6H 及 15R 等。

2H-SiC晶相為 AB排列。

4H-Si晶相為ABCB排列。

6H-Si晶相為ABCACBA排列。

15R-SiC晶相為ABCBABCACBCABAC 排列。