在小型化與5G的趨勢下，被動元件被要求讓要更高壓，更高容，更高可靠度，以及更薄層化，此時奈米稀土氧化物就扮演很重要的角色。

稀土氧化物粉體本身是比較具有活性（和一般氧化物比較)，這特性在奈米粒徑時，更是凸顯。為因應被動元件的小型化，奈米稀土氧化物使用越來越多。奈米稀土氧化物如何使用得當，是生產廠商相當重要的課題。

以下列出奈米稀土氧化物的挑選與使用注意事項：

1.合適的包裝方式:

大部分的奈米稀土氧化物都容易受潮，部分容易吸收CO2，甚至有些會水氣與CO2同時吸收，而反應成碳酸鹽類。這樣會讓稀土的特性變化，也造成元件的生產品質不穩定。因此使用前後，都需要選擇合適的包裝方式，以確保奈米稀土氧化物粉的穩定。

2.合適的分散處理：

奈米陶瓷粉體都容易發生凝團，稀土氧化物也不例外.要克服奈米稀土氧化物的凝聚問題，不外乎:(1)在製漿料時，添加適合的分散劑。(2)選擇合適的球磨或攪拌製程。(3)從粉體根本解決，把粉體進行合適的表面處理，讓粉不發生團聚並輕易分散在漿料中。

奈米稀土氧化物因粉體本身的表面狀況，容易受環境與水等影響，因此表面處理技術比一般的氧化物粉體來得高難度。另外，由於奈米稀土氧化物的高單價，以及微量添加就會讓特性有顯著的變化，因此讓奈米稀土氧化物，可以均勻分散在鈦酸鋇或其他的陶瓷粉中，更顯得重要。讓奈米稀土氧化物分散均勻，除了可以更確保品質與良率外，添加量也可大幅下降，是一舉兩得的好作法。

3.奈米稀土氧化物種類的挑選:

不同的鈦酸鋇的鋇鈦組成，以及不同特性的考量，需要選擇不同的稀土種類。這方面有相當多的研究發表，許多被動元件大廠有相當多的專利與生產實積，多數採用混搭的稀土種類，去提升元件特性。

而奈米稀土氧化物也常被作為助燒結使用，以氧化釔為例，它是氮化鋁常用的助燒結劑。氧化釔的粒度與添加量，影響燒結後的氮化鋁的導熱值甚劇。有客戶反應，使用㎛級的氧化釔常需要5-6wt％添加量，才能有效降低燒結，相同的氮化鋁，若使用奈米級的氧化釔，卻只需要2-4wt％添加量，大幅降低氧化釔添加成本，更重要的是讓氮化鋁的整體含量提高，導熱值也相對提高。目前市售的氮化鋁基板導熱值的差異，除了來自氮化鋁氮化程度不同外(含氧/碳量)，氧化釔也是扮演相當重要的角色。