氮化鋁合成與燒結用石墨爐使用注意事項

因石墨在4000K時仍保持很低的蒸氣壓,因此是氮化鋁合成與燒結常使用的高溫爐種類。以下是使用注意事項:

(1)石墨最大的問題就是容易與氧化物反應,因此在石墨爐中,應避免直接接觸氧化物坩堝或耐火磚等。

(2)因石墨會與氧氣反應成一氧化碳,故使用石墨高溫爐時,需在惰性氣體或是真空下,以保護石墨避免氧化。

(3)若使用惰性氣體,氣體需要非常乾燥,不然水氣會與石墨還原成氫氣並產生一氧化碳。另需注意電壓不要太大,以免產生電漿。

(4)也應避免使用混用氫氣氣氛,因為氫氣會與石墨反應產生甲烷。

(5)在合成與燒結氮化鋁時,會使用氮氣氣氛,氮氣需要非常乾燥,不然會產生有毒的HCN。