半導體長晶用石英坩堝材料管控元素

半導體單晶矽拉晶用的石英坩堝,原材料(熔融石英砂)的雜質會影響晶圓的結晶成長與純度等特性,因此需要嚴格管控。

熔融石英砂雜質需管控的元素至少有18個:Li/B/Na/Mg/Al/P/Cl/K/Ca/Ti/ Cr/Mn/Fe/Co/ Ni/Cu/ Zr/Ba。這些雜質含量必須ppm~ppb範圍,因此熔融石英砂需要進行提純處理才能達到此要求。

熔融石英砂的提純方式有很多:酸洗、浮選、磁選、煅燒、色選、參雜、分離等手法,這些會直接影響熔融石英砂的品質,是熔融石英砂好壞與價格的關鍵。