熔融石英粉是以石英砂為原料,利用高溫電熔法將其熔融後,進行破碎及研磨製得。
熔融石英粉具有非晶型結晶構造、燒失量低、熱膨脹係數小與耐高溫等特性。
高純度的熔融石英粉同時具備高絕緣、高化學穩定性及壓電特性,是製備石英坩堝、石英玻璃、半導體製程用具、鑄模鋪料的原料。
應用在半導體長晶的石英坩堝,需額外對過渡金屬含量進行控制,以避免影響矽晶圓的純度。
熔融石英粉是以石英砂為原料,利用高溫電熔法將其熔融後,進行破碎及研磨製得。
熔融石英粉具有非晶型結晶構造、燒失量低、熱膨脹係數小與耐高溫等特性。
高純度的熔融石英粉同時具備高絕緣、高化學穩定性及壓電特性,是製備石英坩堝、石英玻璃、半導體製程用具、鑄模鋪料的原料。
應用在半導體長晶的石英坩堝,需額外對過渡金屬含量進行控制,以避免影響矽晶圓的純度。