陶瓷拋光液挑選要點如下：

1.陶瓷粉的材質(鑽石/氧化鋁/氧化矽/氧化鈰/氧化鋯/碳化矽等） :

需依據待磨物的硬度與研磨目標（鏡面拋光/減薄/絲面拋光等），以及研磨種類(機械/ CMP)來挑選合適的材質。陶瓷粉的材質除了是成分選擇外，還要注意陶瓷粉的結晶相。此部分也要考量拋光墊的材質搭配。

2.陶瓷粉的固含量 ：

需依據移除率與移除時間的考量，挑選合適的陶瓷粉的固含量。

3.陶瓷粉的粒徑與粒徑分佈 ：

需依據待磨物的表面狀態與研磨目標（鏡面拋光/減薄/絲面拋光等）及移除率的考量，挑選合適的陶瓷粉的粒徑與粒徑分佈。

4.陶瓷粉的形狀 ：

需依據待磨物的表面狀態與研磨目標（鏡面拋光/減薄/絲面拋光等）及移除率的考量，挑選合適的陶瓷粉的形狀。

5.拋光液的pH值 ：

需依據待磨物的種類(耐酸鹼與否）與陶瓷粉的分散(陶瓷粉分散好壞與pH息息相關）的考量，挑選合適的拋光液的pH值。

6.存放時間 ：應避免久放產生沉降，後發生硬凝團的狀況。

7.可回收或可重複使用性 。