2019年台灣的SEMICON半導體展剛於9/20日結束,許多國內外廠商來台參展,以下是展出在半導體相關應用的陶瓷產品:
1.Porous Ceramic Vacuum Chuck(Al2O3/SiC)。
2.Photo Chuck (SiC)。
3.Electrostatic Chuck(Al2O3/AlN)。
4.Heater(Al2O3/AlN)。
5.Guide Plate(SiC)。
6.SiC Wafer(SiC)。
7.Nozzle(AlN / Transparent Al2O3)。
8.RTP Edge Ring(SiC)。