從台灣SEMICON展看陶瓷在半導體上的應用

2019年台灣的SEMICON半導體展剛於9/20日結束,許多國內外廠商來台參展,以下是展出在半導體相關應用的陶瓷產品:

1.Porous Ceramic Vacuum Chuck(Al2O3/SiC)。

2.Photo Chuck (SiC)。

3.Electrostatic Chuck(Al2O3/AlN)。

4.Heater(Al2O3/AlN)。

5.Guide Plate(SiC)。

6.SiC Wafer(SiC)。

7.Nozzle(AlN / Transparent Al2O3)。

8.RTP Edge Ring(SiC)。