氮化鋁加熱器因使用溫度高與導熱快  ，可以快速升降溫（精準的溫控效果），以及讓氮化鋁基板內外部各點有較小的溫度差異 ，常被使用在精密電子與半導體等應用上 。

配合的加熱導線材質常見的是鎢或鉬。

加熱線的設計（線高、線寬、線距、圖案），需配合所需的功率、使用溫度、製程能力、產品尺寸 、導線材質（電阻與溫度係數）。