刮刀(流延)法是目前氮化鋁燒結基板常用的成型方式,而刮刀成型前的漿料是決定基板特性好壞的關鍵。以下是漿料調配的注意事項:
(1)因氮化鋁易水解,所以不能使用水溶液,需用苯或醇類做調製。
(2)使用的黏結劑必須為非水系,常見使用的是PVB系列樹脂。
(3)在氧化物漿料,常會利用製漿時進行把粉體磨細的動作,但是在氮化鋁漿料中,應盡量避免。
因為會把氮化鋁的氧含量提高,而降低了導熱特性。
(4)燒結用氮化鋁常添加氧化釔做助燒結劑,因氮化鋁的密度為3.26g/cm3 ,而氧化釔的密度為5.01g/cm3 ,兩者差異頗大,因此在漿料除了容易發生氮化鋁與氧化釔在溶液中的沈降外,也容易讓氮化鋁與氧化釔發生分層 。所以製漿混合過程,時間建議不要太久。而加入順序建議:先將分散劑放入溶液中,再放入氮化鋁,再放入氧化釔,等均勻混和好,再放入黏結劑。
(5)氮化鋁與氧化釔粒徑需要控制,而氧化釔粒徑原則上越細越好,這樣可以降低氧化釔含量(在氧化釔有均勻分散的前提下),讓整體導熱值較高 ,基板顏色也會比較一致。
(6)整體漿料的固含量越高越好,這樣燒結收縮變化比較好控制。