氮氧化矽（Si2ON2)屬於斜方晶系，密度3.1g/cm3。

氮氧化矽比熱、熱傳導、熱膨脹係數與氮化矽接近，抗氧化性比氮化矽好。常用做碳化矽的黏結劑。

氮氧化矽在無氧氣氛中 ，到1300℃仍相當穩定，但是到1550℃會快速分解 。

氮氧化矽可以抵抗熔融二氧化矽與矽質材料的侵蝕 。