氧化釔對氮化鋁燒結的影響

純氮化鋁不易燒結,因此需要加氧化釔來幫助燒結。

氧化釔的助燒結機制,是利用液相將氮化鋁粉接合在一起。

若氧化釔的量不足,氮化鋁會燒結不緻密,基板強度會顯不足。

若氧化釔比例太高,則會降低氮化鋁的導熱特性。

氮化鋁中若有氧化鋁存在,氧化釔可能與氧化鋁生成釔鋁石榴石(YAG)。因YAG的熱膨脹係數差異,容易在降溫時產生晶界裂痕,而造成基板強度不足,也會產生色不均狀況。

氮化鋁中若有碳殘留或污染,碳可能固溶在晶界中,造成氮化鋁的絕緣特性降低,與基板強度不足,也會產生色不均現象。