液體與氣體的含氧量測試儀相當普遍，而固體的含氧量測試方式與液體與氣體的不同，方式也很多。

其中高溫汽化法是普遍用在陶瓷含氧量(含氮量也可）量測的方式，簡述如下:

1.首先將陶瓷粉放入高純度石墨坩堝中(應避免石墨坩堝氧化），再放入高溫爐中。

2.將爐體抽真空，去除陶瓷粉與石墨坩堝表面吸附的氧。

3.通入惰性氣氛，並升溫將陶瓷粉汽化。

4.因石墨在高溫中，會產生CO與CO2。需用催化劑（如:CuO)將CO轉換成CO2。

5.除去CO2和水後，測量氧氣含量。

整個過程應減少可能的污染（例如殘留的氧化物）。

這樣的量測方式可以測得陶瓷內部的含氧量，除了適用在陶瓷外，金屬也適用。