氮化矽粉（Si₃N₄）與二氧化矽粉不同，二氧化矽可以直接從礦砂提煉出來，而氮化矽粉多透過人工合成才能產生。

氮化矽有3種結晶相，α、β和γ三相。α和β兩相是最常出現的型式，且可以在常壓下製備。γ相只有在高壓及高溫下，才能合成得到。α相在高溫下會轉換成β相，這種相變是不可逆的。若溫度超過氮化矽的熔點，氮化矽則會分解成矽（或二氧化矽）與氮氣。

氮化矽粉的合成方式有：矽粉直接氮化、熱分解法、二氧化矽碳熱還原、化學氣相合成法等。

氮化矽粉的燒結方式有：常壓燒結、反應燒結 、熱壓燒結、氣壓燒結等，燒結氣氛多為氮氣氣氛。